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웨이퍼 검사 모듈 시스템

Real time 100%

전수 검사하는 반도체 웨이퍼 결함 검사시스템

기존 반도체 장비의 EFEM 내부에 장착이 가능하도록 제품 슬림화 설계 디자인 및 안정적인 구조로 제작하였습니다.

Inspection New Technology

반도체 제조 공정 중에는 wafer 표면에 다양한 결함으로 파티클, 스크래치, Chipping, Defect 등 여러가지 검사를 진행하고 있지만

불량 검사율은 3% 수준으로 낮아 공정사고 예방에 어려움이 있어 새로운 검사 기술 개발이 필요합니다. 우리의 기술은 이러한 검사 기술의

난제 해결방안으로 실시간 전수검사가 가능한 기술로 검사 속도도 빠르고 검사율도 100% 가능한 새로운 Solution을 개발하게 되었습니다.

제품의 특징

01.  슬림화 설계 디자인

모든 반도체 장비 설치 가능

02.  EFEM 내부 탑재 설계

모듈형 제품으로 장비 내부 EFEM에 설치

03.  고속 전수 검사

검사 시간 1~2초 이내 검사




04.  Real-Time 100%

Wafer 검사율 100%

05.  공정 사고성 예방

매크로성 Defect 검사

06.  Pre-Post 검사

공정 전/후 전수 검사



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